Predstavleny rezul'taty issledovanii strukturno-fazovykh prevrashchenii v sisteme “titanovoe pokrytie–kremnievaya podlozhka”, obrabotannoi nizkoenergeticheskimi sil'notochnymi elektronnymi puchkami i kompressionnymi plazmennymi potokami dlitel'nost'yu 100 mks i plotnost'yu energii 12–15 Dzh/sm². V rezul'tate issledovaniya metodami rastrovoi elektronnoi mikroskopii, rentgenostrukturnogo analiza i rentgenospektral'nogo mikroanaliza obnaruzheno obrazovanie legirovannogo titanom sloya kremniya tolshchinoi 10–25 mkm, silitsidov titana (TiSi₂ dlya vozdeistviya nizkoenergeticheskimi sil'notochnymi elektronnymi puchkami, Ti₅Si₃ pri vozdeistvii kompressionnymi plazmennymi potokami), dendritov kremniya i igol'chatoi evtektiki (kharakternyi razmer vydelenii 50 nm). Rezul'taty chislennogo modelirovaniya temperaturnykh polei pokazali, chto glubina legirovannogo sloya opredelyaetsya, glavnym obrazom, velichinoi plotnosti moshchnosti i neodnorodnost'yu teplovogo potoka po poverkhnosti misheni. Termodinamicheskie zakonomernosti fazoobrazovaniya obsuzhdayutsya s uchetom teploobmena mezhdu zarodyshami silitsidov i kremniem.

Spisok literatury

1. Patent 2405228 (RF). Sposob formirovaniya silitsidov metallov / Belorusskii gos. un-tet. Ug-lov V.V., Cherenda N.N., Kvasov N.T., Petukhov Yu.A., Astashinskii, V.M., Podsobei G.Z. // Moskva: FBBU “Federal'nyi institut promyshlennoi sobstvennosti”, 2010.
2. Patent 2394939 (RF). Sposob naneseniya legiruyushchikh pokrytii na poverkhnost' metallicheskikh materialov / Belorusskii gos. un-tet. Uglov V.V., Cherenda N.N., Stal'moshenok E.K., Astashinskii V.M., Podsobei G.Z. // Moskva: FBBU “Federal'nyi institut promyshlennoi sobstvennosti”, 2010.
3. Cherenda N.N., Shimanskii V.I., Uglov V.V. i dr. // Fizika i khimiya obrabotki materialov. 2011. № 1. S. 14.
4. Uglov V.V., Kvasov N.T., Petukhov Yu.A. i dr. // Poverkhnost'. Rentgen., sinkhrotr. i neitron. issled. 2010. № 4. S. 79.
5. Silicide Technology for Integrated Circuits / Ed. Chen L.J. London: The Inst. Eng. Technology. 2009. 280 p.
6. Zhang C., Yan F., Allen C.S. et al. // J. Appl. Phys. 2010. V. 108. P. 024311-1.
7. Le Flem M., Canel J., Urvoy S. // J. Alloys Compounds. 2008. V. 465. № 1–2. P. 269.
8. Struktura i svoistva perspektivnykh metallicheskikh materialov / Red. Potekaeva I.S. Tomsk: NTL, 2007. 580 s.
9. Grigoryev S.V., Koval N.N., Devjatkov V.N. et al. // IEEE Trans. Plasma Sci. 2009. V. 37. № 3. R. 1890.
10. Koval' N.N., Shchanin P.M., Devyatkov V.N. i dr. // PTE. 2005. № 1. S. 135.
11. Koval' N.N., Ivanov Yu.F. // Izv. vuzov. Fizika. 2008. №5. S. 60.
12. Astashinskii V.M., Bakanovich G.I., Kuz'mitskii A.M. i dr. // Inzh.-fiz. zhurnal. 1992. T. 62. № 3. S. 386.
13. http://www.specord.ru
14. http://www.icdd.com
15. Diagrammy sostoyaniya dvoinykh metallicheskikh sistem: Spravochnik: V 3-kh t.: T. 3, kn. 2 / Red. N. P. Lyakisheva. M.: Mashinostroenie, 1997. 1024 s.
16. Zinov'ev V.E. Kineticheskie svoistva metallov pri vysokikh temperaturakh. M.: Metallurgiya, 1984. 200 s.
17. Veryatin U.D., Mashirev V.P., Ryabtsev N.G. i dr. Termodinamicheskie svoistva neorganicheskikh veshchestv. M.: Atomizdat, 1965. 460 s.
18. Fizicheskie velichiny / Red. Grigor'eva I.S. M.: Energoatomizdat, 1991. 1232 s.
19. Markov A.B., Rotshtein V.P. // Poverkhnost'. Rentgen., sinkhrotr. i neitron. issled. 1998. № 4. S. 83.
20. Tang K., Øvrilid E.J., Tranell G., Tangstad M. // J. Minerals, Metals Materials Society. 2009. V. 61. № 11. P. 49.
21. Ufnalski W. Równowagi i diagramy fazowe: Algorytmy oblicze, interpretacje i symulacje komputerowe. Warszawa: Oficyna Wydawnicza Politechniki Warszawskiej, 2008. 260 p.
22. Fizicheskoe metallovedenie: V 3-kh tomakh / Red. Kan R. U., Khaazen P. T. 2: Fazovye prevrashcheniya v metallakh i splavakh i splavy s osobymi fizicheskimi svoistvami. M.: Metallurgiya, 1987. 624 s.
23. Nizhenko V.I., Floka L.I. Poverkhnostnoe natyazhenie zhidkikh metallov i splavov (odno- i dvukhkomponentnye sistemy): Spravochnik. M.: Metallurgiya, 1981. 208 s.