Разработан способ автоматического исправления искаженных дрейфом изображений поверхности, полученных на сканирующем зондовом микроскопе. Для случая медленно изменяющихся дрейфов составлены простые линейные преобразования, описывающие возникающие искажения. В качестве исходных данных используется одна или две пары встречно-сканированных изображений (ВСИ). Находя координаты одной и той же особенности поверхности в каждом ВСИ, решается система линейных уравнений. Полученные решения – коэффициенты линейных преобразований – служат для исправления вызванных дрейфом искажений в горизонтальной и вертикальной плоскостях. Предложено два нелинейных способа коррекции, обеспечивающих в сравнении с линейным способом коррекции бóльшую точность исправления дрейфа. Разработанный метод может применяться при особенность-ориентированном сканировании поверхности.

Список литературы

1. Griffith J.E., Grigg D.A. // J. Appl. Phys. 1993. V. 74. P. R83.
2. Griffith J.E., Miller G.L., Green C.A. et al. // J. Vac. Sci. Technol. B. 1990. V. 8. P. 2023.
3. Patent 5077473 (USA). Drift compensation for scanning probe microscopes using an enhanced probe positioning system/Digital Instruments, Inc. Elings V. B., Gurley J. A., Rodgers M. R. // 1991.
4. Patent 5107113 (USA). Method and apparatus for correcting distortions in scanning tunneling microscope images/Bell Communications Research, Inc. Robinson R. // 1992.
5. Yurov V.Y., Klimov A.N. // Rev. Sci. Instrum. 1994. V. 65. P. 1551.
6. Jorgensen J.F., Madsen L.L., Garnaes J. et al. // J. Vac. Sci. Technol. B. 1994. V. 12. P. 1698.
7. Заявка 2006127131 на патент (РФ). Способ коррекции искаженных дрейфом изображений поверхности, полученных на сканирующем зондовом микроскопе/Лапшин Р.В. 2006 (www.nanoworld.org/homepages/lapshin/patents.htm).
8. Lapshin R.V. // Nanotechnology. 2004. V. 15. P. 1135. (www.nanoworld.org/homepages/lapshin/publications.htm).
9. Stoll E.P. // Rev. Sci. Instrum. 1994. V. 65. P. 2864.
10. Lapshin R.V. // Rev. Sci. Instrum. 1995. V. 66. P. 4718 (www.nanoworld.org/homepages/lapshin/publications.htm).
11. Lapshin R.V. // Rev. Sci. Instrum. 1998. V. 69. P. 3268 (www.nanoworld.org/homepages/lapshin/publications.htm).
12. Li A.P., Müller F., Birner A. et al. // J. Appl. Phys. 1998. V. 84. P. 6023.